真空(kong)(kong)泵機組是指利用機械、物(wu)理(li)、化(hua)學(xue)或物(wu)理(li)化(hua)學(xue)的方(fang)法對被抽(chou)容器(qi)進行抽(chou)氣而獲得真空(kong)(kong)的器(qi)件或設備。通俗來講，真空(kong)(kong)泵是用各種(zhong)方(fang)法在某(mou)一封閉空(kong)(kong)間中(zhong)改善、產生和維持(chi)真空(kong)(kong)的裝置(zhi)。

按真空泵的工作原(yuan)理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣(qi)體(ti)捕集泵和氣(qi)體(ti)傳輸泵。其(qi)廣泛用于冶金、化工、食品(pin)、電子鍍膜等行(xing)業。

發展歷史

2SK水環真空泵

隨著(zhu)真(zhen)空(kong)應(ying)用的(de)(de)(de)發(fa)展(zhan)，真(zhen)空(kong)泵(beng)的(de)(de)(de)種(zhong)類已發(fa)展(zhan)了很(hen)多種(zhong)，其(qi)抽速(su)從每秒零點幾(ji)升(sheng)到每秒幾(ji)十萬、數百萬升(sheng)。隨著(zhu)真(zhen)空(kong)技術在生產和科學研究領(ling)域中對其(qi)應(ying)用壓強范(fan)圍的(de)(de)(de)要(yao)(yao)(yao)求越(yue)來越(yue)寬，大多需(xu)要(yao)(yao)(yao)由(you)幾(ji)種(zhong)真(zhen)空(kong)泵(beng)組(zu)成(cheng)真(zhen)空(kong)抽氣系統共同抽氣后才能(neng)(neng)(neng)(neng)滿(man)足生產和科學研究過程(cheng)的(de)(de)(de)要(yao)(yao)(yao)求，由(you)于(yu)真(zhen)空(kong)應(ying)用部門(men)所涉(she)及的(de)(de)(de)工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)壓力(li)(li)的(de)(de)(de)范(fan)圍很(hen)寬，因此任何一種(zhong)類型的(de)(de)(de)真(zhen)空(kong)泵(beng)都不可能(neng)(neng)(neng)(neng)完全適用于(yu)所有(you)的(de)(de)(de)工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)壓力(li)(li)范(fan)圍，只能(neng)(neng)(neng)(neng)根據不同的(de)(de)(de)工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)壓力(li)(li)范(fan)圍和不同的(de)(de)(de)工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)要(yao)(yao)(yao)求，使用不同類型的(de)(de)(de)真(zhen)空(kong)泵(beng)。為了使用方便(bian)和各種(zhong)真(zhen)空(kong)工(gong)(gong)藝(yi)過程(cheng)的(de)(de)(de)需(xu)要(yao)(yao)(yao)，有(you)時將各種(zhong)真(zhen)空(kong)泵(beng)按(an)其(qi)性能(neng)(neng)(neng)(neng)要(yao)(yao)(yao)求組(zu)合起來，以機組(zu)型式應(ying)用。

常用(yong)真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)包括干式(shi)螺(luo)桿真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)、水環(huan)泵(beng)(beng)(beng)(beng)、往復泵(beng)(beng)(beng)(beng)、滑閥泵(beng)(beng)(beng)(beng)、旋片泵(beng)(beng)(beng)(beng)、羅茨泵(beng)(beng)(beng)(beng)和擴散泵(beng)(beng)(beng)(beng)等，這些泵(beng)(beng)(beng)(beng)是我(wo)國國民經濟各行業應用(yong)真(zhen)(zhen)空工藝過程中必(bi)不可少的(de)主力泵(beng)(beng)(beng)(beng)種(zhong)。近年來(lai)， 伴隨(sui)著我(wo)國經濟持續高(gao)速發(fa)(fa)展(zhan)，真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)相關下(xia)游應用(yong)行業保持快速增長(chang)勢頭，同時在真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)應用(yong)領域(yu)不斷拓展(zhan)等因素的(de)共同拉動下(xia)，我(wo)國真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)行業實現了持續穩定地(di)快速的(de)發(fa)(fa)展(zhan)。

結構特點

1)泵總體結構(gou)型(xing)式

真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。

立式結構的進、排氣口水平設置，裝配(pei)和連接管(guan)路(lu)都比(bi)較方便(bian)。但泵的較高，在高速運(yun)轉(zhuan)時穩定性差，故這種型式多(duo)用于小泵。

臥(wo)式(shi)泵的(de)進(jin)氣(qi)(qi)口(kou)(kou)在(zai)上，排氣(qi)(qi)口(kou)(kou)在(zai)下(xia)。有時為了真空(kong)系統(tong)管道(dao)安(an)裝連接(jie)(jie)(jie)方(fang)(fang)便，可(ke)將排氣(qi)(qi)口(kou)(kou)從水平方(fang)(fang)向接(jie)(jie)(jie)出，即進(jin)、排氣(qi)(qi)方(fang)(fang)向是相(xiang)互垂(chui)直(zhi)的(de)。此時，排氣(qi)(qi)口(kou)(kou)可(ke)以從左或右兩(liang)個方(fang)(fang)向開(kai)口(kou)(kou)，除接(jie)(jie)(jie)排氣(qi)(qi)管道(dao)一端外，另一端堵死或接(jie)(jie)(jie)旁通(tong)閥。這(zhe)種(zhong)泵結(jie)(jie)構(gou)低(di)，高速(su)運轉時穩定(ding)性好。一般大、中型泵多采(cai)用此種(zhong)結(jie)(jie)構(gou)。

泵(beng)的兩個轉(zhuan)子軸與水平面垂(chui)直安(an)裝。這種(zhong)結(jie)構裝配間隙容易控制，轉(zhuan)子裝配方(fang)便(bian)(bian)，泵(beng)占(zhan)地面積(ji)小。但泵(beng)較高且(qie)齒輪拆(chai)裝不便(bian)(bian)，潤滑機構也(ye)相(xiang)對復(fu)雜(za)。

2)泵的傳動方式

真空泵(beng)的(de)(de)(de)兩(liang)個轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子是通(tong)過(guo)一(yi)對高精度齒輪來實現(xian)其(qi)相對同(tong)步運轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)的(de)(de)(de)。主(zhu)(zhu)動(dong)(dong)(dong)軸通(tong)過(guo)聯(lian)軸器與電機聯(lian)接。在傳動(dong)(dong)(dong)結(jie)構(gou)布置上(shang)主(zhu)(zhu)要有以下兩(liang)種：其(qi)一(yi)是電動(dong)(dong)(dong)機與齒輪放在轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子的(de)(de)(de)同(tong)一(yi)側(ce)如圖。從動(dong)(dong)(dong)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子由電動(dong)(dong)(dong)機端齒輪直接傳過(guo)去帶(dai)動(dong)(dong)(dong)，這樣主(zhu)(zhu)動(dong)(dong)(dong)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子軸的(de)(de)(de)扭(niu)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)變形小，則兩(liang)個轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子之(zhi)(zhi)間(jian)(jian)的(de)(de)(de)間(jian)(jian)隙不(bu)(bu)會因主(zhu)(zhu)動(dong)(dong)(dong)軸的(de)(de)(de)扭(niu)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)變形大而改變，故(gu)使轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子之(zhi)(zhi)間(jian)(jian)的(de)(de)(de)間(jian)(jian)隙在運轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)過(guo)程中(zhong)均勻(yun)。這種傳動(dong)(dong)(dong)方式的(de)(de)(de)缺(que)點是：a.主(zhu)(zhu)動(dong)(dong)(dong)軸上(shang)有三(san)個軸承，增加了泵(beng)的(de)(de)(de)加工和裝配難度，齒輪的(de)(de)(de)拆(chai)裝及調(diao)整也不(bu)(bu)便；b.整體結(jie)構(gou)不(bu)(bu)勻(yun)稱，泵(beng)的(de)(de)(de)偏(pian)向電動(dong)(dong)(dong)機和齒輪箱一(yi)側(ce)。

特點

(1)在較(jiao)寬的壓力(li)范圍內有較(jiao)大的抽(chou)速；

(2)轉(zhuan)子(zi)具有良好的幾何對(dui)稱(cheng)性(xing)，故(gu)振動(dong)小，運轉(zhuan)平穩。轉(zhuan)子(zi)間(jian)及轉(zhuan)子(zi)和殼體間(jian)均有間(jian)隙，不用潤滑(hua)，摩(mo)擦損失小，可大大降低(di)驅動(dong)功率，從而可實現較(jiao)高(gao)轉(zhuan)速；

(3)泵腔(qiang)內無需(xu)用油密封(feng)和(he)潤滑(hua)，可減少油蒸氣對真空系(xi)統(tong)的污染；

(4)泵腔內無(wu)壓(ya)縮，無(wu)排(pai)氣閥。結構(gou)簡單(dan)、緊湊，對被(bei)抽氣體(ti)中的灰(hui)塵和水蒸(zheng)汽(qi)不(bu)敏(min)感；

(5)壓縮比較低，對氫(qing)氣(qi)抽(chou)氣(qi)效果差；

(6)轉子表面(mian)為形狀較為復雜的曲線柱面(mian)，加工(gong)和(he)檢查比(bi)較困難。